【摘 要】
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采用溶胶-凝胶法在普通玻璃基底上制备了纯TiO2和Cu掺杂的TiO2（Cu-TiO2）纳米结构薄膜,利用X射线光电子能谱（XPS）、原子力显微镜（AFM）、粉末X射线衍射（XRD）及UMT-3摩擦磨损试验机考察
【机 构】
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青岛理工大学机械工程学院,中国科学院兰州化学物理研究所
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采用溶胶-凝胶法在普通玻璃基底上制备了纯TiO2和Cu掺杂的TiO2（Cu-TiO2）纳米结构薄膜,利用X射线光电子能谱（XPS）、原子力显微镜（AFM）、粉末X射线衍射（XRD）及UMT-3摩擦磨损试验机考察了Cu掺杂量对薄膜组成、结构、表面形貌及摩擦学性能的影响.结果表明,相比于纯TiO2薄膜,Cu掺杂TiO2纳米薄膜平整、均匀,具有较好的耐磨减摩性能.Cu掺杂量的多少直接影响Cu-TiO2薄膜的减摩抗磨性能,当Cu掺杂量为5%（摩尔分数）时,Cu-TiO2膜具有最佳的耐磨寿命和最低的摩擦系数.
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