HFCVD金刚石膜电阻率研究

来源 :光谱学与光谱分析 | 被引量 : 0次 | 上传用户：w6832793xym

【摘要】

：

本文采用在金刚石表面蒸镀铝电极的方法测量金刚石膜的电阻率.样品的Raman,SEM,XRD分析结果表明,金刚石膜的电阻率与晶粒尺度、晶粒取向和缺陷及杂质有直接关系,大尺度晶粒的

【作者】

：

胡颖邢修三

【机构】

：

首都师范大学物理系,北京理工大学应用物理系

【出处】

：

光谱学与光谱分析

【发表日期】

：

2001年5期

【关键词】

：

金刚石膜热丝化学气相沉积电阻率制备测试表面蒸镀铝电极 diamond film HFCVD resistivity

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

本文采用在金刚石表面蒸镀铝电极的方法测量金刚石膜的电阻率.样品的Raman,SEM,XRD分析结果表明,金刚石膜的电阻率与晶粒尺度、晶粒取向和缺陷及杂质有直接关系,大尺度晶粒的金刚石膜具有较高的电阻率,高比例的I(110)/I(111)晶粒取向的金刚石膜具有较高的电阻率;结构缺陷和杂质含量较小的金刚石膜具有较高的电阻率.

其他文献

重新审视欠发达地区的资源优势战略

认为欠发达地区建立在地区低级要素比较优势基础上的资源优势战略面对当前国内相对过剩经济的影响和国际激烈竞争的冲击，其局限性日益明显，必须加以重新审视。降低政府费用以

期刊

资源优势经济优势比较优势欠发达地区固定性要素潜在收益政府职能固定性要素流动性要素Resources advantages Economic a

FAAS直接法测定环境和生物试样中Zn、Pb和Cd

本文系统研究了海水、土壤、沉积物和生物中Cd、Pb和Zn用火焰原子吸收直接法测定时的干扰与背景校正。由于这些物质基体中含有大量Al、Na、K、Ca、Mg、Fe等元素，在火焰中形成M

期刊

FAAS火焰原子吸收法环境试样生物试样镉铅锌测定flame atomic absorption spectrometry background

醋酸乙烯酯—二乙烯苯（VAc—DVB）共聚物微球表面功能化反应的红外光谱研究

利用FTIR和漫反射-傅里叶变换红外(DR-FTIR)方法对醋酸乙烯酯(VAc)-二乙烯苯(DVB)共聚物微球表面功能化反应进行了研究.结果表明,DR-FTIR光谱比透射FTIR光谱能够获得更多的微

期刊

醋酸乙烯酯二乙烯苯VAc-DVB共聚物微球FTIR光谱DR-FTIR光谱红外光谱表面功能化反应VAc-DVB copolymeric micros

农村寄宿制小学生存在的心理问题及对策

随着农村外出务工人员的增多,加之农村人口数量的自然减员,农村教学点的办学已经难以维持。因此,寄宿制学校成为当前农村教育发展的必然选择。这种对农村小学生的收编,上确实

期刊

农村寄宿制小学学生心理问题对策

某公司镀镍线废水回收利用研究

某公司对镀镍线产生的含镍废水,依据废水的性质和来源,进行分类回收利用。对逆流漂洗废水采用槽边回用的方式,经离子交换处理后回用于逆流漂洗槽;对综合废水收集处理,对部分

期刊

镀镍线含镍废水处理回收利用workshop of nickel platingwastewater containing nickeltreatme

结节型甲状腺肿与甲状腺腺瘤346例回顾性病理分析

目的：通过对以往“结甲”与甲状腺腺瘤回顾性病理分析，探讨误诊原因。方法：根据世界卫生组织的“结甲”及甲状腺腺瘤的诊断标准，对过去346例病例重新阅片。结果：346例病例中“结甲

期刊

结节型甲状腺肿甲状腺腺瘤误诊分析

试论建立旅游卫星账户对发展西部旅游的意义

在分析发展西部旅游需要改进旅游统计的基础上,阐明了建立旅游卫星账户对发展西部旅游的意义,即旅游卫星账户可以指导完善西部旅游统计体系;通过创建一个用途广泛的数据库,提

期刊

旅游卫星账户西部旅游旅游统计Tourism Satellite Account Tourism in Western China Economics

前列腺素E1治疗冠心病心绞痛疗效观察

本文选择了６０例冠心病绞痛病人，随机分为两组，每组３０傲，治疗组静滴前列腺Ｅ１，对照组口消心痛，结果在临床症状改善方面治疗组总有效率８８．８％，对照组总有效率６０％，治疗组高于对照组，有显著差异。

期刊

前列腺素E1冠心病心绞痛药物疗法

萃取火焰原子吸收法测定高梁种皮中的硒

本文研究了微量元素硒,用APDC和MIBK萃取,火焰原子吸收法进行测定.通过萃取富集,既克服了硒的原子化效率低而难以测定的缺点,又消除了稳定剂Cu2+及样品中所含有的其他金属离

期刊

测定萃取火焰原子吸收法高梁种皮硒extraction FAAS selenium kaoliang seed-skin

胸骨穿刺100例临床体会

期刊

胸骨穿刺血液细胞形态麻醉诊断

HFCVD金刚石膜电阻率研究

其他学术论文