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分别以乙醇和甲醇为电解液，采用电化学沉积法，在Si（100）表面得到碳薄膜。通过拉曼光谱和傅立叶变换红外光谱分析，证实所制备的薄膜具有类金刚石（DLC）结构特征。利用扫描电子显微镜对不同工艺制备的薄膜进行了表面形貌分析，并研究了样品在0．5mol／LH2S04溶液中的电化学交流阻抗谱。结果表明，与在乙醇体系中制得的DLC膜相比，在甲醇体系中制得的DLC膜具有更好的表面形貌和更好的抗腐蚀能力。