一台400keV离子注入机的光路设计

• 作 者: 王克明 刘清前 张乃健 陈鄂生 张永恩
• 机 构: 山东大学物理系,山东大学物理系,山东大学物理系,山东大学物理系,山东大学物理系,
• 出 处: 山东大学学报(自然科学版)
• 发表日期: 1989年01期
• 关键词: 离子注入机 eV 光路设计 加速方法 磁分析器 四极透镜 象方焦点 靶室 物理设计 物点

本文给出了一台400keV离子注入机的物理设计总体方案。根据设计指标,详细计算了该机主要部件的参数。经调试,各项指标达到设计要求。

This paper presents a 400 keV ion implanter physical design of the overall program. According to design specifications, detailed calculation of the aircraft main components of the parameters. After debugging, the indicators meet the design requirements.