【摘 要】
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叙述了激光干涉定位的原理及方法，定位精度可达０．０１μｍ，采用条纹细分技术进行微位移检测，精度为０．０１μｍ，并将上述方法用于物件平行度检测。
The principle and method of laser interferom
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叙述了激光干涉定位的原理及方法，定位精度可达０．０１μｍ，采用条纹细分技术进行微位移检测，精度为０．０１μｍ，并将上述方法用于物件平行度检测。
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