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【摘 要】
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通过直流磁控溅射热等静压铟锡氧化物（ITO）靶材制备ITO导电薄膜，并且针对O2-Ar混合气氛中氧的分压对ITO膜的结构、表面形貌、透光率以及导电率的影响进行了研究。结果表明，在低氧
【机 构】
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长沙理工大学
【出 处】
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湖南有色金属
【发表日期】
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2007年2期
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