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Si 基光电子集成已成为十分引人注目的研究课题,其工艺与 CMOS 工艺完全兼容,可以实现低成本的 Si 基光电子集成器件.该文综述近几年来 Si 基光电子集成器件的发展以及一些最新的研究进展,并对器件研制、发光机理和应用前景等方面做了详细的叙述.
SI基光电子集成器件研究进展
【摘 要】
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Si 基光电子集成已成为十分引人注目的研究课题,其工艺与 CMOS 工艺完全兼容,可以实现低成本的 Si 基光电子集成器件.该文综述近几年来 Si 基光电子集成器件的发展以及一些最
【机 构】
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广东肇庆学院电子信息工程系
【出 处】
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黑龙江科技信息
【发表日期】
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2004年6期
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