【摘 要】
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三、氮化铝薄膜的结构和成分 氮化铝薄膜的结构依从于它的制造工艺和基片材料。在其他条件相同下,用不同的工艺可以制造出结构不同的薄膜。同样的,即使在工艺完全相同下,若
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三、氮化铝薄膜的结构和成分 氮化铝薄膜的结构依从于它的制造工艺和基片材料。在其他条件相同下,用不同的工艺可以制造出结构不同的薄膜。同样的,即使在工艺完全相同下,若所用基片材料不同,会得出结构各异的薄膜。 在氮化铝薄膜的结构中,包括有组织结构和晶体结构,此外,还有各种结构缺陷。
Third, the structure and composition of aluminum nitride film The structure of aluminum nitride film is based on its manufacturing process and substrate material. Under the same conditions, films with different structures can be made by different processes. Similarly, even if the process is exactly the same, if the substrate material used is different, will result in different structures of the film. In the structure of the aluminum nitride thin film, a structure and a crystal structure are included. In addition, there are various structural defects.
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