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目前,集成电路技术已发展到可以将微电子、微光学、微机械结合起来。形成一种新的复杂的多功能微系统。微系统被人们称为传统工业的维生素。微系统产品社会需求量不断上升,并在消费电子、通讯设备、医疗器件、自动控制、仪器仪表等方面形成了巨大的潜在市场。正是技术进步和市场需求促使VLSI从集成电路技术逐渐向微系统技术迈进。