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采用超声波雾化进样,ICP—AES法对氮化硅中十三种杂质元素的测定进行了试验研究。取样量1g时,铝、钙、钴、铬、铜,铒、铁、镁、锰,镍、钛、钒和锌的测定范围为0.1～12.8μg·g-1,回收率为93％～110％,RSD（n=8）为0.8％～3.2％。
ICP-AES法测定陶瓷材料氮化硅中十三种杂质元素
【摘 要】
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采用超声波雾化进样,ICP—AES法对氮化硅中十三种杂质元素的测定进行了试验研究。取样量1g时,铝、钙、钴、铬、铜,铒、铁、镁、锰,镍、钛、钒和锌的测定范围为0.1～12.8μg·g-1,回收率为93％～110％,RSD（n=8）为0.8％～3.2％。
【出 处】
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理化检验(化学分册)
【发表日期】
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1998年07期
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