聚酰亚胺在微波GaAs FET中的应用

来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kcl
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聚酰亚胺是一种高分子聚合物材料。它的组分及结构使其具有比SiO_2等无机介质更优越的介质特性与热特性,且刻蚀方法简便。在微波GaAs FET中作表面钝化、双层布线隔离介质应用时明显提高了器件可靠性,尤其改善了塑料封装器件的防潮性能,简化了FET工艺步骤。 Polyimide is a kind of polymer material. Its composition and structure make it have superior dielectric properties and thermal characteristics than inorganic media such as SiO_2, and the etching method is simple. In microwave GaAs FET for surface passivation, double-layer wiring isolation media applications significantly improve the reliability of the device, in particular, to improve the moisture-proof plastic packaging devices, simplifying the FET process steps.
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