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本文用扫描电子显微镜观察了ＺｎＯ／ＳｎＯ２，ＳｎＯ２／ＺｎＯＵＰＦ的断面形貌，所研究的薄膜系采用直流气体放电活化反应蒸发沉积法制备。结果表明：用直流气体放电活化反应发沉积法，通过二次蒸镀的方式所制备的超微粒子薄膜，膜层间具有明显的扩散现象，由扩散所形成过渡层的形态与复合的方式有关。
超微粒氧化锌,锡复合薄膜的断面研究
【摘 要】
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本文用扫描电子显微镜观察了ＺｎＯ／ＳｎＯ２，ＳｎＯ２／ＺｎＯＵＰＦ的断面形貌，所研究的薄膜系采用直流气体放电活化反应蒸发沉积法制备。结果表明：用直流气体放电活化反应发沉积法，通过二次蒸镀的方式所制备的超微粒
【机 构】
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淮北煤炭师范学院,华东理工大学,中国科学院北京真空物理实验室
【出 处】
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真空电子技术
【发表日期】
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1996年3期
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