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【摘 要】
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针对光学反射镜在精磨向初抛光过渡阶段时面形与理想面形存在较大偏差的问题,采用轮廓仪和普通干涉仪检测无法满足加工检测需求的问题,提出采用动态范围大且准确度高的条纹反
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院大学
【出 处】
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光子学报
【发表日期】
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2015年09期
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