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介绍了激光划线设备在太阳能电池中的应用。与传统等离子体刻蚀设备对比．从设备结构，工艺原理，试验测试等方面做了深入的分析，并从理论角度分析得出激光刻蚀具备效率损失小，能够提高电池片的转换效率的优点，同时用实验验证了激光划片设备具有优异的刻蚀效果．对提升电池片效率的贡献。
刻蚀设备在太阳能晶硅电池刻蚀工艺中的应用
【摘 要】
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介绍了激光划线设备在太阳能电池中的应用。与传统等离子体刻蚀设备对比．从设备结构，工艺原理，试验测试等方面做了深入的分析，并从理论角度分析得出激光刻蚀具备效率损失小，能够提
【机 构】
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中国电子科技科技集团公司第四十八研究所,湖南长沙410111,湖南红太阳光电科技有限公司,国家光伏装备技术工程研究中心
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2013年8期
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