【摘 要】
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本文论述了MEMS工艺中存在的静电问题,给出了工艺过程中特别是光刻工艺时的静电防护方法,具有一定的实践意义。
This article discusses the electrostatic problem existin
【机 构】
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广东技术师范学院天河学院电气工程系,
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本文论述了MEMS工艺中存在的静电问题,给出了工艺过程中特别是光刻工艺时的静电防护方法,具有一定的实践意义。
This article discusses the electrostatic problem existing in the MEMS process, and gives the electrostatic protection method during the process, especially the lithography process, which has certain practical significance.
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