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【摘 要】
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阐述了消除探针测试系统误差的方法，通过分析校准原理和计算校准模型，提出了把已知的校准位放在校准基片上，通过修改网络分析仪（VNA）的校准位和信号接收端口，利用探针台的移动和探
【机 构】
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中国电子科技集团公司第26研究所
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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2013年3期
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