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高压快速晶闸管的Ｐ型双质掺杂新技术研究成功，经工艺论证和试用，该项成果具有可行性、先进性和实用性，为研究和制造快速晶闸管开辟了一条新工艺途径，本文阐述了工艺设计原理、掺杂机制、杂质浓度分布和试用结果。
P型双质掺杂技术在快速晶闸管生产中的应用
【摘 要】
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高压快速晶闸管的Ｐ型双质掺杂新技术研究成功，经工艺论证和试用，该项成果具有可行性、先进性和实用性，为研究和制造快速晶闸管开辟了一条新工艺途径，本文阐述了工艺设计原理、掺杂
【机 构】
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山东济宁硅元件厂,山东师范大学半导体所
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1996年5期
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