液晶显示器系统中的铜、铜／钼或铜／钼合金电极蚀刻液体

• 出 处: 中国钼业
• 发表日期: 2011年5期
• 关键词: 液晶显示器 铜层 蚀刻 钼层 合金电极 系统 液体 质量分数

本发明涉及一种用于铜层、铜／钼层、或铜／钼合金层的蚀刻溶液，包括以蚀刻溶液的总重量计，12％～35％（质量分数，下同）的过氧化氢、0．5％-5％的硫酸盐、0．5％-一5％的磷酸盐、0．0001％～0．5％氟离子、0．1％-5％的第一水溶性环胺、0．1％-5％螯合剂、0．1％～5％第二水溶性环胺、0．1％-5％的二醇以及去离子水，使全部该蚀刻溶液的总重量为100％。