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为不断提升器件的轻量化、轻质性,提出应用微细加工技术的建议.本文研发了一种实时掩膜光刻技术,其能在三维空间内制造任何连续微结构.根据友度量化实时掩膜产生原理,制作相关的计算软件,进而为光学、MOEMS技术的发展起到一定抛砖引玉的作用.
探究液晶实时掩膜光刻技术研究
【摘 要】
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为不断提升器件的轻量化、轻质性,提出应用微细加工技术的建议.本文研发了一种实时掩膜光刻技术,其能在三维空间内制造任何连续微结构.根据友度量化实时掩膜产生原理,制作相
【机 构】
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南京市中电熊猫平板显示科技有限公司 江苏南京210000
【出 处】
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数码设计（上）
【发表日期】
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2018年10期
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