论文部分内容阅读
本文具体介绍了高温热氧化工艺的统计模拟方法,并在此基础上对一种具体氧化工艺进行了计算和分析,指出了合理选择氧化工艺参数搭配的途径,对小尺寸集成电路的制造有一定实际意义。
高温热氧化工艺的统计模拟
【摘 要】
：
本文具体介绍了高温热氧化工艺的统计模拟方法,并在此基础上对一种具体氧化工艺进行了计算和分析,指出了合理选择氧化工艺参数搭配的途径,对小尺寸集成电路的制造有一定实际
【出 处】
：
电子器件
【发表日期】
：
1989年2期
其他文献
近日，某市一名在10kV高压线路下进行建筑施工的人员，不慎将手中的钢卷尺碰及了带电的高压线造成触电，从十几米的高空摔下。经抢救，虽保住了其性命，但可能永远瘫痪在床。
综述交流薄膜电致发光屏的研制与生产的现状与水平。评述目前开发与研究的两个主要方向—低电压薄膜电致发光屏与金色薄膜电致发光屏的进展与存在的问题。
自110kV徐家店变电站改造后，110kV徐东线出线在处于热备用方式下，每月电能表计量电能量增加8万余kW·h。经过技术人员现场仔细测量和计算，最终确定是因计量问题造成多计电能
过了年盼十五，十五闹花灯是泉州老鲤城一年中最热闹的盛事。元宵前后，小伙伴们吞下甜甜的元宵，便迫不及待地点上自家的花灯，成群结队地在古大厝间窜进窜出，显摆着自家的花灯。女孩子喜欢莲花灯，润饼灯等；男孩子则喜欢公鸡灯，老虎灯等。 纸糊的花灯容易着火，有时一阵风吹来，将灯笼内的蜡烛吹斜、吹倒就着火。记得有一年，我意外地得到了一盏白兔灯，红红的眼睛，长长的耳朵，中间还竖着一个圆圆的月亮，漂亮极了。因为担
本文以作者根据Shepp-Logan人头模型生成的七幅精度相同(相对误差均为10%)而质量各异的"重建"图象为基础,分析了目前常用的图象重建质量评价指标的不足,提出了具有明确视觉心理概念的Ee、Es、Ec评价指标,并对ART、SIRT、MART和FBP等重建方法的重建质量进行了分析.