【摘 要】
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根据吸附表面上分子密度的实际值及共分布,以及粘附系数,对吸附壁真空装置计算的主要论点作了讨论。提出了在持续沉积金属膜上吸附的半经验模型,给出了N_2、CO、O_2和H_2在钛
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根据吸附表面上分子密度的实际值及共分布,以及粘附系数,对吸附壁真空装置计算的主要论点作了讨论。提出了在持续沉积金属膜上吸附的半经验模型,给出了N_2、CO、O_2和H_2在钛膜上吸附系数对温度和吸附比率的依赖关系。 在吸气剂泵计算中的更实际方面和有关的最佳化问题。以及一些具体例子也进行了讨论。
According to the actual value of the molecular density on the adsorption surface and the co-distribution, as well as the adhesion coefficient, the main argument of the adsorption wall vacuum device is discussed. A semiempirical model of adsorption on continuous deposited metal films was proposed. The dependence of the adsorption coefficients of N 2, CO, O 2 and H 2 on the temperature and adsorption ratio was given. More practical aspects of getter pump calculations and related optimization issues. As well as some specific examples are also discussed.
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