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采用溶胶凝胶工艺，合成出纳米晶Ｌａ０．７Ｓｒ０．３ＦｅＯ３薄膜，薄膜为钙钛矿结构，平均粒径在４０ｎｍ左右。利用该薄膜采用平面工艺制作出微米尺寸、室温工作的Ｌａ０．７Ｓｒ０．３ＦｅＯ３纳米薄膜栅ＯＳＦＥＴ式气敏元件，并对其气敏性能进行了测试，发现器件的漏电流在乙醇气体中增大，在氨氧化物中降低。
La07Sr0.3FeO3纳米晶薄膜的制备及FET式气敏元件的研制
【摘 要】
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采用溶胶凝胶工艺，合成出纳米晶Ｌａ０．７Ｓｒ０．３ＦｅＯ３薄膜，薄膜为钙钛矿结构，平均粒径在４０ｎｍ左右。利用该薄膜采用平面工艺制作出微米尺寸、室温工作的Ｌａ０．７Ｓｒ０．３ＦｅＯ３纳米薄膜栅ＯＳＦＥＴ式气敏元件，并对其气敏性能进行了测试，发现
【机 构】
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吉林大学电子工程系!集成光电子国家重点实验室吉林大学分区超硬材料国家重点实验室,吉林长春130023,吉林大学电子工程系!集成光电子国家重点实验室吉林大学分区,吉林大学电子工程系!集成光电子国家重点实
【出 处】
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功能材料
【发表日期】
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2000年B05期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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