【摘 要】
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The design,fabrication and packaging of a type of MEMS piezoresistive ultrasonic transducer array are introduced.The consistency of the resonance frequency and
【机 构】
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Key Laboratory of Instrumentation Science&Dynamic Measurement,Ministry of Education,North University
【出 处】
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Journal of Semiconductors
论文部分内容阅读
The design,fabrication and packaging of a type of MEMS piezoresistive ultrasonic transducer array are introduced.The consistency of the resonance frequency and the sensitivity of the array are tested.Moreover,we detect the directivity and the multi-target identification ability of the array.The results of the consistency of the resonance frequency and the sensitivity show that there is a gap between the practical and theoretical results.This paper analyzes this problem in detail and points out the direction of improvement.As for the directivity,the actual result is consistent with the theoretical one.The results of multiple target distinguishing tests demonstrate that the smallest resolution angle of the array is 5.72°when the distance between the sensor array and measured objects is 2 m.
The design, fabrication and packaging of a type of MEMS piezoresistive ultrasonic transducer array have been introduced. The consistency of the resonance frequency and the sensitivity of the array are tested. More over, we detect the directivity and the multi-target identification ability of the array. The results of the consistency of the resonance frequency and the sensitivity show that there is a gap between the practical and theoretical results. This paper analyzes this problem in detail and points out the direction of improvement. As for the directivity, the actual result is consistent with the theoretical one. The results of multiple target distinguishing tests demonstrate that the smallest resolution angle of the array is 5.72 ° when the distance between the sensor array and the measured objects is 2 m.
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