硅应力缓冲衬底上GaAs薄层转移探索

来源 :光电子．激光 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lv_yj

【摘要】

：

本文研究晶格失配较大的Ⅲ-Ⅴ族化合物向Si基底转移薄层的技术,为此制备了Si/SiO2/Si结构的应力缓冲衬底.利用智能切割(smart-cut)技术制备薄层GaAs并以低温SiO2层过渡与应力

【作者】

：

孙钟林耿卫东陆靖谷

【机构】

：

南开大学光电子所

【出处】

：

光电子．激光

【发表日期】

：

2001年12期

【关键词】

：

砷化镓薄层转移薄膜硅应力 ArsenicCuttingGalliumSiliconThin films

【基金项目】

：

国家自然科学基金

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

本文研究晶格失配较大的Ⅲ-Ⅴ族化合物向Si基底转移薄层的技术,为此制备了Si/SiO2/Si结构的应力缓冲衬底.利用智能切割(smart-cut)技术制备薄层GaAs并以低温SiO2层过渡与应力缓冲衬底相键合,达到GaAs向Si基底的转移目的.并对结果进行了分析和讨论,认为该技术是可行的. 同时特别强调了低温淀积SiO2层的完美性对最终转移的GaAs薄层的完整性是重要的.

其他文献

UPLC和HPLC测定不同采收期宣木瓜中齐墩果酸熊果酸含量

目的建立超高效液相色谱法（UPLC）,测定不同采收期宣木瓜中齐墩果酸（OA）和熊果酸（UA）含量,并与高效液相色谱法（HPLC）的测定相比较。方法 UPLC采用ACQUITY UPLCTM BEH C18色谱柱（2.1 mm

会议

超高效液相色谱法高效液相色谱法宣木瓜齐墩果酸和熊果酸采收期

单光束LD／PSD激光对中测量仪及其数学模型

研究了单光激光同轴测量仪样机及其数据处理模型、数据采集与处理的计算机程序.该程序可以在DOS或Windows 95环境下运行.数据处理模型给出了激光光斑在光电半导体位置探测器(

期刊

LD/PSD激光对中测量仪数学模型位置探测器单光束Laser shaft alignment PSD Single beam

斜向场双层波导中导波光模式转换和衍射效率

本文研究了斜向场下双层磁光薄膜波导中导波光与静磁正向体波之间的相互作用.在静磁波频率为1.9～3.4 GHz的范围内,计算了不同磁场倾角下导波光的衍射效率和模式转换效率.结果

期刊

斜向场双层波导静磁体波导波光衍射效率模式转换效率DiffractionElectromagnetic wavesMagnetic fieldsMagn

用彩色二维编码测量动态物体三维轮廓的方法

用红绿蓝颜色的正方形组成二维编码平面 ,并将其附着在被测物体表面 ,作为立体视觉测量中的匹配点。用 2套光学成像系统获取被测物体的彩色图像 ,通过计算机图像处理技术找出 2个图像中的匹配点 ,再根据匹配点的视差来获取物体的三维轮廓信息。这一方法特别适于对人体的运动进行三维跟踪测量

期刊

彩色二维编码三维测量跟踪测量动态物体测量三维轮廓Color codesComputer visionMeasurementsThree dimensi

国际原油价格波动是否增加了国内CPI通胀率的不确定性?

本文选取2001年1月至2011年10月的月度统计数据,基于二阶矩意义的Granger因果检验方法,在多元GARCH模型框架下,运用残差向量的方差-协方差矩阵所包含的信息,构建非对称的BEKK

期刊

原油价格波动国内CPI通胀率多元GARCH模型ABEKK模型

视觉传感集成体系中不同图像间映射匹配关系

提出一种由三角法面形传感器和2个CCD摄像机组成的机器视觉传感集成系统,利用前者所获得的三维面形与后者所摄得的二维图像在空间上特定的几何对应关系,建立3幅图像间的映射.

期刊

视觉传感集成体系机器视觉映射匹配图像信息Charge coupled devicesMappingPattern matchingSensor dat

硅应力缓冲衬底上GaAs薄层转移探索

其他学术论文