【摘 要】
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MEMS产品早在1980年就已经存在了,与使用了CMOS工艺的一般半导体相比,因为晶圆制成非常复杂,包装也很耗功夫,使得工程标准化和低成本变得十分困难,所以只应用于有限的用途。
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MEMS产品早在1980年就已经存在了,与使用了CMOS工艺的一般半导体相比,因为晶圆制成非常复杂,包装也很耗功夫,使得工程标准化和低成本变得十分困难,所以只应用于有限的用途。但是,最近确定了批量生产小型、高性能的MEMS产品的技术,除了汽车发动机控制、医疗器械、喷墨打印机这些常用
MEMS products already existed in 1980, compared with the general semiconductors that use the CMOS process, because the wafer is very complicated and the packaging is very laborious, making the standardization and low cost of the project become very difficult, so only the application For limited use. However, technologies for mass-producing small, high-performance MEMS products have recently been identified, with the exception of automotive engine control, medical devices, and inkjet printers
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