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研究了三极溅射法制备的ＴａＮ膜的结构、成分及其性能。实验发现：随着氮分压的增加，ＴａＮ膜的结构将从面心立方相转变为六方相；ＴａＮ膜的显微硬度在单一相结构时最大，而以双相共存时的显微硬度较低。
TaN膜的结构,成分及性能
【摘 要】
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研究了三极溅射法制备的ＴａＮ膜的结构、成分及其性能。实验发现：随着氮分压的增加，ＴａＮ膜的结构将从面心立方相转变为六方相；ＴａＮ膜的显微硬度在单一相结构时最大，而以双相共存时的显微硬度较
【机 构】
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三束材料改性国家重点实验室大连理工大学分部
【出 处】
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大连理工大学学报
【发表日期】
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1995年4期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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