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微电机系统（MEMs）是由多种学科交叉融合的跨学科研究领域。本文利用滑模变结构控制法对MEMS谐振器混沌运动进行了控制。最后用数值模拟验证了所选控制器的有效性。
MEMS谐振器的滑模变结构控制
【摘 要】
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微电机系统（MEMs）是由多种学科交叉融合的跨学科研究领域。本文利用滑模变结构控制法对MEMS谐振器混沌运动进行了控制。最后用数值模拟验证了所选控制器的有效性。
【机 构】
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天津职业技术师范大学理学院
【出 处】
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科技视界
【发表日期】
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2013年33期
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