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利用磁控溅射法在SiC纤维上沉积T|-6Al-4V涂层制备成先驱丝．在功率密度一定时，沉积速率和工作气压有关环境温度对涂层表面形貌及涂层与纤维结合的影响较大,涂层成分接近Ti-6A1-4V，沿涂层厚度方向成分分布均匀,涂层中柱晶晶粒尺寸为20—50nm，为a-Ti固溶体．
溅射参量对SiC涂层Ti一6A1—4V显微组织的影响
【摘 要】
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利用磁控溅射法在SiC纤维上沉积T|-6Al-4V涂层制备成先驱丝．在功率密度一定时，沉积速率和工作气压有关环境温度对涂层表面形貌及涂层与纤维结合的影响较大,涂层成分接近Ti-6A1-
【机 构】
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中国科学院金属研究所
【出 处】
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金属学报
【发表日期】
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2004年4期
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