【摘 要】
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北京市塑料研究所承担的国家863项目———超大规模集成电路配套材料重大专项课题《300mm硅片包装容器的研究》于2005年11月完成验收。该项目通过对超纯树脂及材料检测、纯净
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北京市塑料研究所承担的国家863项目———超大规模集成电路配套材料重大专项课题《300mm硅片包装容器的研究》于2005年11月完成验收。该项目通过对超纯树脂及材料检测、纯净加工工艺及环境控制技术等进行研究,在原有75、100、125mmPFA承载器(花篮)及配件(提把、PP花篮)的生产
Beijing Institute of Plastics commitment to the national 863 project --- VLSI supporting materials major project “300mm silicon packaging container research” in November 2005 completed the acceptance. The project through ultrapure resin and material testing, pure processing technology and environmental control technology research, the original 75,100,125 mmPFA carrier (flower basket) and accessories (handle, PP baskets) production
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