【摘 要】
：
本文主要研究集成电路硅片上缺陷的空间分布．在详细考察缺陷空间成团（Ｃｌｕｓｔｅｒ）效应的基础上，提出了一个新的描述缺陷空间分布的量——分数维，并建立了一个结构化的模型．用分数维对缺陷的成
论文部分内容阅读
本文主要研究集成电路硅片上缺陷的空间分布．在详细考察缺陷空间成团（Ｃｌｕｓｔｅｒ）效应的基础上，提出了一个新的描述缺陷空间分布的量——分数维，并建立了一个结构化的模型．用分数维对缺陷的成团效应及其空间分布进行详细地分析和计算机模拟，并验证了结果的正确性．本文为实现集成电路可制造性设计中的功能成品率精确表征奠定了基础．
This paper mainly studies the spatial distribution of defects on integrated circuit silicon. After examining the cluster effect of defect space in detail, a new dimension - fractal dimension describing the spatial distribution of defects was proposed and a structured model was established. Using fractal dimension, the grouping effect and its spatial distribution of defects were analyzed and simulated in detail. The correctness of the results was verified. This article lays the foundation for the accurate characterization of functional yield in IC manufacturability design.
其他文献
子线与母线怎样连接?它应该考虑哪些因素?有人认为:钓线与金属环连接,存在着磨损危机,改为软连接可以避免子线拉断(见《钓鱼周刊百期精选》第164页《线组软连接》一文)。悬坠
八傀沈1 近四场联赛战绩 亚特兰大罗马11片匆启咨场扮i翔雷吉腼晰硕琅勃自梢娜自驹螃粼黝挑12月01日主场O:2佩鲁贾12月01日主场22尤文图斯12月08日客场延期都灵12月08日客场0
经中国有色金属工业科学技术奖励工作办公室组织专家评定,一等奖53项,二等奖86项,三等奖57项。获一等铝土矿及氧化铝项目3项:编号2015013低铝硅比铝土矿梯度及微泡浮选新技术
本届艺术节,经过分片预赛、大奖赛两个阶段的演出竞赛,评比出综合演出奖15台,单项奖495个,其中创作奖47个,现将综合演出奖和创作奖公布于后: 一、综合演出奖一等奖(金牌) 现
翔实·清新·实用──评《科技汉语与逻辑》新时代出版社崔金泰语言逻辑学，是１９世纪以来由逻辑学派生出的一个分支。尽管逻辑学是一门古老的学科，而且早在２００Ｏ多年前人们就已注意到语
植竹是一项技术性很强的工作,其质增好坏关系到竹园成林的速度和成材的迟早。因此,植竹除了讲究林地选择,严格选用种竹,掌握适时栽植外,在具体方法上,还应注意“识走向、巧
2002年英国当地时间5月15日19时45分，欧洲冠军杯决赛在格拉斯哥汉替顿公园球场揭幕，星马2比1力克勒沃库森，夺得球队历史上第9座冠军杯。
In 2002 the British local time at 19
缪伯英是中共第一位女党员，1920年在北大由李大钊介绍入党，为中共早期革命事业和中国的妇女运动作出了杰出贡献。 李大钊的得意弟子 缪伯英乳名玉桃，1899年10月21日生于湖南长沙一个书香之家，父亲缪芸是当地知名人士，参加过辛亥革命，曾在湖南省教育司供职。缪伯英于1909年进入省立第一女子师范学校附属小学读初小，1916年考入省立第一女子师范学校本部。 第一女师位于长沙城中心，由革命家、教育
山东某地去年开始实行“每日一事”全程留痕管理机制，并推出“每日一事”电脑软件和手机应用，每个党员干部每天将重要工作内容上传公布，区委和区政府随机抽查、强化动态管理，督促干部认真干事、高效成事。 众所周知，平时考核之所以难，就难在留痕管理。一旦缺乏对工作环节的有效监管，即便考核周期再短，也会存在应付考核、突击“补课”的现象。由此可见，只有让工作动态留痕、过程留痕、成果留痕，考核才会更加精准。 “
中国人再次入选NBA 北京6时间2003年5月13日零时薛玉洋参加NBA选秀的声明经NBA官方确认后对外公布。 2003年5月17日凌晨,NBA官方宣布了2003年选秀候选人名单,其中包括42名全