论文部分内容阅读
针对设计的高g加速度传感器,建立封装有限元模型,并利用ANSYS软件仿真分析了贴片热应力及贴片技术对高g加速度传感器性能的影响。分析结果表明,贴片胶的热膨胀系数、弹性模量和厚度是影响热应力的主要因素,同时贴片胶的弹性模量、厚度及贴片胶的量将影响到传感器的输出灵敏度。
MEMS高g加速度传感器封装贴片技术的研究
【摘 要】
：
针对设计的高g加速度传感器,建立封装有限元模型,并利用ANSYS软件仿真分析了贴片热应力及贴片技术对高g加速度传感器性能的影响。分析结果表明,贴片胶的热膨胀系数、弹性模量
【机 构】
：
中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,中北大学电子科学与技术系
【出 处】
：
化工自动化及仪表
【发表日期】
：
2011年9期
其他文献
结合现代生活生产中煤层气的现状、作用及其处理工艺的工程设计实际情况,对当今煤层气开发利用工程中自动控制系统的重要性和实际应用作了详细的介绍,最后分析了控制系统中存
目的分析A型肉毒毒素治疗面部皱纹的临床效果。方法选取120例面部老化出现皱纹患者,根据皱纹部位的不同采用不同注射方式给予不同剂量的A型肉毒毒素,观察其治疗效果。结果 12
目的观察点阵CO2激光联合自体富血小板血浆（PRP）对面部痤疮瘢痕患者瘢痕区皮肤创面愈合时间的影响。方法选取2014年10月2015年9月我院面部痤疮瘢痕患者86例,采用随机数表法分组
从融媒体时代开始,广大群众逐渐认识到数字化信息给生活各方面带来的各种改变,针对地方信息资源传播方式的改变,越来越多的群众开始接触到了更多的新闻渠道。由于融媒体时代
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技
针对河网地区回归水的存在及其重复利用加大了节水潜力的尺度效应,也导致了关于真实节水潜力的诸多争论的问题,采用首尾法对比研究了河网区不同尺度灌区灌溉水利用系数,并对
<正> 一、加强老年社区卫生工作的意义1.老年社区卫生工作对老年人自身及其家庭意义重大身心残疾的长寿并非是人们追究的目标,健康长寿才是人生的幸福。健康下降不仅增加了经
会议
目的研究治疗远段尿道下裂患儿前实施包皮环切术对尿道修复效果的影响。方法选取我院2013年9月～2015年7月治疗的96例尿道下裂患儿作为临床疗效分析对象，分为试验组、对照组，每组