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通过使用永久磁铁和应用微波汽笛模发射产生了一种大面积电子回旋共振（ECR）等离子体，已产生了一种均匀等离子体，其均匀度在直径20cm范围内为±3.5%和直径16cm 范围内为±1.8%；等离子体空间电位约为17V，其均匀度在20cm范围内为±1％。最大离子电流密度约为11.5mA·cm^-2.所产生的等离子体 纯度很高。用微波功率600W运行100h之后没有发现任何损伤。