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为了降低成本,拓展隧道加速度计的应用,作者设计了一种隧道加速度计.对器件进行体硅工艺研究,结果为:隧尖尺寸为0.02 μm×0.02 μm,隧道电流为1.14 nA～4.68 nA.
体硅隧道加速度计
【摘 要】
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为了降低成本,拓展隧道加速度计的应用,作者设计了一种隧道加速度计.对器件进行体硅工艺研究,结果为:隧尖尺寸为0.02 μm×0.02 μm,隧道电流为1.14 nA～4.68 nA.
【机 构】
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北京大学微电子学研究院
【出 处】
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纳米技术与精密工程
【发表日期】
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2004年1期
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