静电MEMS器件的力电耦合分析与模拟

• 作 者: 衣克洪 谢友宝 李尧忠
• 机 构: 南昌航空工业学院,南昌航空工业学院,南昌航空工业学院 江西南昌330034,江西南昌330034,江西南昌330034
• 出 处: 航空精密制造技术
• 发表日期: 2005年05期
• 关键词: 微机电系统 力电耦合 拉入电压 牛顿迭代法

分析了微机电系统中静电-结构耦合的拉入(pull-in)特性,比较了牛顿迭代法、松弛法、有限元/边界元混合法等方法求解静电-结构耦合问题的各自特点。

The pull-in characteristics of the electrostatic-structural coupling in MEMS are analyzed. The characteristics of the electrostatic-structural coupling problems such as Newton’s iterative method, relaxation method and finite element / boundary element method are compared.