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本文叙述了新型的硅谐振式传感器的结构、原理、特点、制作及其在ＤＰｈａｒｐ变送器中的应用。
硅谐振式传感器及其应用
【摘 要】
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本文叙述了新型的硅谐振式传感器的结构、原理、特点、制作及其在ＤＰｈａｒｐ变送器中的应用。
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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1993年5期
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