基于面阵CCD的激光光束参数测量系统精度分析

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研究了使用面阵CCD探测器测量激光束空间参数中的问题,采用计算机模拟的方法讨论了CCD的积分范围、动态范围、A/D转换量化精度和光斑最大光强对于光束参数的影响,根据分析结果提出了对CCD器件和测量方法的要求.
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