【摘 要】
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建立了单电子器件的制备工艺和单电子器件的分析、测量系统，研究了有潜在应用价值的纳米结构加工技术，制备了适合光电集成的多种纳米结构，发展了常规光刻法制备单电子器件的多种
【基金项目】
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国家自然科学基金!(批准号 :6992 541 0 ;1 990 4 0 1 5)
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建立了单电子器件的制备工艺和单电子器件的分析、测量系统，研究了有潜在应用价值的纳米结构加工技术，制备了适合光电集成的多种纳米结构，发展了常规光刻法制备单电子器件的多种技术.其中，在生命科学和信息领域有着广泛应用的“纳米电极对”引起了国内外专家的重视.发展以“纳米电极对”为基础的单电子器件及其应用是我们目前的主要研究方向.目前我们正在探索这种单电子器件在生命芯片、微电子系统集成方面的应用.
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