【摘 要】
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利用磁控溅射与液氮冷凝相结合的团簇产生设备成功地制备了多种金属及金属化合物（如Ｃｕ，Ｍｏ，Ｔａ，ＡｌＮ，ＴｉＮ，ＴａＮ）等团簇。团簇尺寸大小为２－３０ｎｍ，其微结构为晶体结构。
Various clusters of metals and metal c
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利用磁控溅射与液氮冷凝相结合的团簇产生设备成功地制备了多种金属及金属化合物（如Ｃｕ，Ｍｏ，Ｔａ，ＡｌＮ，ＴｉＮ，ＴａＮ）等团簇。团簇尺寸大小为２－３０ｎｍ，其微结构为晶体结构。
Various clusters of metals and metal compounds, such as Cu, Mo, Ta, AlN, TiN and TaN, have been prepared successfully by the cluster generation equipment which combines magnetron sputtering and liquid nitrogen condensation. The size of the cluster is 2-30nm, and its microstructure is crystal structure.
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