【摘 要】
：
电子束蒸发铝新工艺比起钨丝直接加热铝蒸发的旧工艺具有十分明显的优越性,对半导体电路生产具有很重要的意义,是半导体电路科研生产中推广使用的重要新工艺之一.在规定的束
论文部分内容阅读
电子束蒸发铝新工艺比起钨丝直接加热铝蒸发的旧工艺具有十分明显的优越性,对半导体电路生产具有很重要的意义,是半导体电路科研生产中推广使用的重要新工艺之一.在规定的束流、高压、转速、烘烤温度、衬底温度、真空度、蒸铝时间等条件下,铝层厚度不仅在中心值附近波动,而且会出现厚度不好控制的大幅度起伏.偏差有时达50%以上.
Electron beam evaporation of aluminum than the direct heating of tungsten wire aluminum evaporation of the old craft has very obvious advantages, the semiconductor circuit production is of great significance, is the promotion of semiconductor circuits used in research and production of one of the important new technology in Under the conditions of predetermined beam current, high pressure, rotational speed, baking temperature, substrate temperature, vacuum degree and aluminum evaporation time, the thickness of the aluminum layer fluctuates not only around the center value, but also appears to fluctuate greatly due to poor thickness control. Sometimes up to 50% or more.
其他文献
环境标志是一种产品的证明性商标,用来表明该产品不仅质量合格,而且产品生产、销售、使用和处置全过程符合特定的环境保护要求, 与同类产品相比,对生态环境无害或危害较小。
请下载后查看，本文暂不支持在线获取查看简介。
Please download to view, this article does not support online access to view profile.
由于我国电视媒体特殊的体制,长期以来各级电视台同质化经营现象严重。在电视媒体内部面临着频道之间的竞争、台别之间的竞争,在外部又面临着其他传统媒体的竞争。同时,全球
算法初步是必修模块数学3中的内容之一。随着现代信息技术的飞速发展,算法在科学技术、社会发展中发挥着越来越大的作用,算法思想已成为现代人应具备的一种数学素养。算法是
《语文课程标准》指出：“作文应引导学生关注现实，热爱生活，表达真情实感。”现在不少小学生的作文中出现内容空洞，语言枯燥，缺少真情实感。究其重要的原因就是学生在写作文时对写
请下载后查看，本文暂不支持在线获取查看简介。
Please download to view, this article does not support online access to view profile.
纵观扫描仪市场行情,给人的感觉,扫描仪的销售情况让人惊喜不小。在2001年中更让扫描仪市场着实火了一把,各大厂商之间的价格战使扫描仪的价格门槛低了又低,而且媒体、网络
眼下,在江城武汉一些大学、医院、网吧、写字楼等公共场所,出现了一种全自动投币型饮料咖啡机,吸引了不少人的眼球。这种饮料咖啡机的大小与普通的家用饮水机差不多,在投币以
课堂教学中教师要掌握好提问时间,要做到以奇、精问题制胜,这样才能调动学生的积极性。个性问题应从封闭走向开放,应把文本内的问题引向社会,引导学生积极思考,形成自己的观
A series of laboratory and pot experiments carried out to examine the role of soil microbial biomass in red soils’ nitrogen availability and productivity showe