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采用磁控射频溅射的方法,在玻璃基片上制备SnO2及其掺杂薄膜。采用AFM和XRD分析薄膜的表面形貌与结构,对掺Cu的SnO2薄膜在常温丙酮气氛作用下,用UV分光光度计进行了气敏光学特性测试,研究结果表明：薄膜在常温下对丙酮气体具有明显的敏感效应,其反射率在可见光范围的某些波段有20%的变化。
磁控射频溅射Cu掺杂SnO2薄膜的气敏光学特性研究
【摘 要】
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采用磁控射频溅射的方法,在玻璃基片上制备SnO2及其掺杂薄膜。采用AFM和XRD分析薄膜的表面形貌与结构,对掺Cu的SnO2薄膜在常温丙酮气氛作用下,用UV分光光度计进行了气敏光学
【机 构】
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华南理工大学物理科学与技术学院
【出 处】
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陶瓷学报
【发表日期】
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2008年3期
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