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基于MEMS技术设计的集成温湿度传感器具有重量轻、体积小、成本低、易集成等特点 ,并可大大提高器件的一致性、可靠性 ,易形成批生产能力。本文首先从理论上分析了利用热电原理测量空气绝对湿度的可行性 ,然后利用有限元分析方法对湿度传感器进行了结构建模 ,并模拟铂电阻的升温与空气湿度的变化关系曲线。在此分析基础之上 ,得出测量绝对湿度的方法。