边缘效应的去除函数模型及实验

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计算机控制光学表面技术(CCOS)是加工光学非球面的一项重要技术。在计算机控制小磨头抛光技术中,边缘效应严重制约了CCOS技术的加工精度和加工效率,是亟待解决的技术难点之一。获得磨头在加工工件边缘时的定量去除模型,并通过驻留时间算法进行补偿,是解决该问题的重要途径。采用边缘压强阶跃分布模型,并通过理论推导,得出边缘效应下的去除函数计算模型。去除函数实验的结果表明,该边缘去除函数计算模型的数值绝对误差在5%内,边缘去除函数模型与实际加工吻合很好,可以用于指导实际抛光过程。 Computer Controlled Optical Surface Technology (CCOS) is an important technique for processing optical aspheric surfaces. In the computer-controlled small head polishing technology, the edge effect severely restricts the processing accuracy and processing efficiency of CCOS technology, which is one of the technical difficulties to be solved urgently. Obtaining the quantitative removal model of the grinding head when machining the edge of the workpiece and compensating by the dwell time algorithm are important ways to solve the problem. The edge pressure step distribution model is adopted, and the theoretical model of the removal function under the edge effect is derived. The experimental results show that the absolute error of the numerical value of the edge removal function is within 5%. The edge removal function model is in good agreement with the actual processing and can be used to guide the actual polishing process.
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