温度对氮活性粒子(N+,Nf)轰击阴极壁的影响

• 作 者: 何琪 张连珠 孔令宜
• 机 构: 河北师范大学,物理学院,河北,石家庄,050016
• 出 处: 河北师范大学学报(自然科学版)
• 发表日期: 2003年2期
• 关键词: 氮直流辉光放电 Monte-Carlo模拟 活性氮粒子 N2+-N2s离解反应

采用蒙特卡罗方法,模拟研究了氮直流辉光放电电子碰撞、离解和N2+电荷交换离解过程,产生的活性粒子(N+,Nf)轰击阴极壁的能量分布随放电气体温度的变化规律.结果表明:阴极壁处活性粒子(N+,Nf)的能量最高且粒子数密度最大,最佳放电温度与参数(P,Vc)相关联.模拟结果为等离子体与材料表面的相互作用过程的认识提供了依据.