铝掺杂氧化锌薄膜的扫描电镜形貌观察条件研究

• 作 者: 王琴 张科 胡子阳 诸跃进
• 机 构: 宁波大学理学院
• 出 处: 宁波大学学报(理工版)
• 发表日期: 2015年4期
• 关键词: 扫描电镜 形貌 铝掺杂氧化锌薄膜 scanning electron microscope morphology aluminum-doped zinc o

利用日立SU70场发射扫描电镜对铝掺杂氧化锌（AZO）透明导电薄膜进行形貌观察.针对AZO薄膜特点,使用多种测试条件探讨了不同测试条件对薄膜形貌的影响.通过测试结果对比,获得了测定薄膜形貌的最佳条件.结果显示：加速电压为5 k V,工作距离为10 mm,探测器为混合探测器（Mix）,电子强度为high模式时,得到的扫描电镜图片最佳.