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A transmission line-type electrical model for tapered TSV considering MOS effect and frequency-depen

来源 :Journal of Semiconductors | 被引量 : 0次 | 上传用户：ykq1999

【作 者】

：

刘松 单光宝 谢成民 杜欣荣 

【出 处】

：

Journal of Semiconductors

【发表日期】

：

2020年1期

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