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微机械单元技术的动向
微机械单元技术的动向
来源 :光机电信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户:cxr349150
【摘 要】
:
本文从加工、组装、传感器、测量、执行元件等方面,叙述微机械单元技术的动向。
【作 者】
:
高晓萍
崔承甲
【出 处】
:
光机电信息
【发表日期】
:
1995年5期
【关键词】
:
微机械单元技术
加工
组装
传感器
测量
执行元件
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本文从加工、组装、传感器、测量、执行元件等方面,叙述微机械单元技术的动向。
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