实现微位移测量的非本征法布里-珀罗干涉型光纤传感器

• 作 者: 江绍基 曾斌 梁有程 汪河洲 蔡志岗 李宝军
• 机 构: 中山大学光电材料与技术国家重点实验室,中山大学光电材料与技术国家重点实验室,中山大学光电材料与技术国家重点实验室,中山大学光电材料与技术国家重点实验室,中山大学光电材料与技术国家重点实验室,中山大学光
• 出 处: 光学技术
• 发表日期: 2005年04期
• 关键词: 光纤传感器 非本征型法布里-珀罗干涉仪 位移 光谱

从光纤耦合和多光束干涉的原理出发,建立了非本征型法布里_珀罗干涉仪光纤传感器的理论模型,得到了用光谱法进行绝对距离测量的公式。设计出了传感器探头的结构,并搭建了系统。用LED作为宽带光源所得到的反射光谱可用于实际样品的微位移测量。实验结果表明,该传感器理论模型的数值模拟结果与实验结果是一致的。对实验数据进行了误差分析,所得到的测量精度可达到1μm。