【摘 要】
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采用高压高功率(hphP)甚高频等离子体强强化学气相沉积(VHF-PECVD)法对微晶硅(μc-Si:H)进行高速沉积,在最优沉积条件参数下对hphP和低压低功率(lplP)两组样品沉积速率、光电
【机 构】
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河北工业大学信息工程学院,天津职业技术师范大学电子工程学院,
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采用高压高功率(hphP)甚高频等离子体强强化学气相沉积(VHF-PECVD)法对微晶硅(μc-Si:H)进行高速沉积,在最优沉积条件参数下对hphP和低压低功率(lplP)两组样品沉积速率、光电导、暗电导及光敏性等性能参数进行测试,得到了1.58 nm/s的较高沉积速率、光电性能优秀和更适合薄膜太阳能电池的μc-Si:H薄膜材料。
The microcrystalline silicon (μc-Si: H) was deposited at high speed by high-voltage high-power high-frequency plasma enhanced chemical vapor deposition (VHF-PECVD) (LplP) deposition rate, photoconductivity, dark conductance and photosensitivity of the two samples were tested to obtain a higher deposition rate of 1.58 nm / s, excellent optoelectronic properties and more suitable for thin-film solar cell μc-Si: H thin film material.
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