【摘 要】
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脉冲多弧离子源主要用来镀制类金刚石薄膜及金属、合金膜，研究了脉冲多弧离子源的引弧方法、放电的稳定性、离子源结构对镀膜均匀性的影响。在此基础上，研制了脉冲多弧离子源，利
【机 构】
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脉冲多弧离子源主要用来镀制类金刚石薄膜及金属、合金膜，研究了脉冲多弧离子源的引弧方法、放电的稳定性、离子源结构对镀膜均匀性的影响。在此基础上，研制了脉冲多弧离子源，利用该源镀制了类金刚石薄膜及镍铬铁合金渐变膜。经测试，膜层性能良好。
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