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设计与制备了带Ｔｉ／Ａｕ膜参考电极的长臂式ＰＨ－ＩＳＦＥＴ集成传感器与微流通池。在静态和流动分析系统测量中表明：由蠕动泵驱动的待测流动极畅，且试样量极少，响应速度快。
新型微流通池pH—ISFET集成传感器
【摘 要】
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设计与制备了带Ｔｉ／Ａｕ膜参考电极的长臂式ＰＨ－ＩＳＦＥＴ集成传感器与微流通池。在静态和流动分析系统测量中表明：由蠕动泵驱动的待测流动极畅，且试样量极少，响应速度快。
【机 构】
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东南大学微电子中心
【出 处】
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电子器件
【发表日期】
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1996年3期
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